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振動克星之主動隔振臺的精密控制之道
2025-03-18

在現(xiàn)代精密工程和科學(xué)研究中,主動隔振臺扮演著至關(guān)重要的角色。這種高科技設(shè)備通過精密的傳感器網(wǎng)絡(luò)和先進(jìn)的控制算法,為精密儀器創(chuàng)造了一個近乎靜止的工作環(huán)境,使其能夠在納米尺度上進(jìn)行精確操作和測量。主動隔振臺的核心在于其特殊的反饋控制機(jī)制。系統(tǒng)由...

  • 2022-11-14

    在過去的40年,我們發(fā)展成為隔振臺的供應(yīng)商,并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗。與此同時,測量技術(shù)有了很大的進(jìn)步,一些靈敏的設(shè)備會受被動式隔振臺中低頻共振頻率的干擾,只有主動式隔振臺能消除此類干擾。因此,我們在被動式隔振臺產(chǎn)品之外,補(bǔ)充了由瑞士TableStableLtd.開發(fā)的先進(jìn)主動式隔振臺。隔振臺的描述:調(diào)整腳,焊接鋼框架。1、薄膜空氣彈簧BiAi產(chǎn)處于框架和需要隔振的平臺之間(垂直固有頻率2.3Hz)2、機(jī)械氣動定位控制(精度土1/lOOmm或土1/lOmm)特點:1、固有振...

  • 2022-11-09

    Thetametrisis膜厚測量儀用于氧化釔(Y?O?)涂層厚度測量。它可快速準(zhǔn)確地繪制大型氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y?O?層厚度。下面我們來看看用Thetametrisis膜厚測量儀測量氧化釔(Y?O?)涂層厚度的具體情況。Thetametrisis膜厚測量儀測量氧化釔(Y?O?)的案例分析:氧化釔(Y?O?)是一種非常有前景抗等離子涂層材料,且在集成電路中特征尺寸的持續(xù)減小應(yīng)用在化學(xué)機(jī)械拋光后的高度平整工藝用作化學(xué)機(jī)械平面化(CMP)的磨料,具有獷泛的應(yīng)用范圍。氧...

  • 2022-11-01

    硅片厚度測量儀是采用紅外干涉技術(shù)的一款測量儀器。它能夠精確測量硅片厚度和測量TTV總厚度變化,也能實時測量超薄晶圓厚度(掩膜過程中的晶圓),硅片厚度測試儀非常適合晶圓的研磨、蝕刻、沉淀等厚度測量應(yīng)用。硅片厚度測量儀具有突出優(yōu)勢,諸多材料例如Si、GaAs、InP、SiC、玻璃、石英以及其他聚合物在紅外光束下都是透明的,非常容易測量,標(biāo)準(zhǔn)的測量空間分辨率可達(dá)50微米,更小的測量點也可以做到。目前,儀器可廣泛用于MEMS、晶圓、電子器件、膜厚、激光打標(biāo)雕刻等工序或器件的測量。該硅...

  • 2022-10-24

    電容式位移傳感器基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩(wěn)定交流電通過傳感器,輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關(guān)系,從而可以通過測量電壓的變化得到距離信息。電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器,具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點。實際應(yīng)用當(dāng)中電容式傳感器可以實現(xiàn)近乎的線性測量。但是,電容傳感器要求探...

  • 2022-10-19

    顯微鏡秒變光刻機(jī)!--顯微鏡LED曝光單元電子顯微鏡和光刻機(jī),兩個看上去風(fēng)馬牛不相及的東西,是如何結(jié)合到一起的?我們向您介紹一款無掩膜顯微鏡LED曝光單元UTA-3A-53M,能令顯微鏡秒變光刻機(jī)!該設(shè)備是一種具有高性價比的曝光裝置,其DLP固定在顯微鏡的三目鏡部分,而照相機(jī)則固定在目鏡部分??梢詫S贸绦虍a(chǎn)生的圖案投影并在顯微鏡下曝光在樣品上。<特征>?顯微鏡LED曝光單元UTA系列是用于光刻的無掩模圖案投影曝光設(shè)備。?使用金屬顯微鏡和LED光源DLP投影儀,將分辨率為幾μ...

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